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硅片清洗机

VIP 第2年
硅片清洗机
  • 　参考价： 询价
  • 最小起订： 1台
  • 供货总量： 大量
  • 发布日期： 2011/3/31
  • 有效日期： 2011/9/27 10:29:54
  • 　产　地： 苏州
  • 经营模式： 生产型
  • 认证信息： 已认证
  • 电话：0512-50175911
  • 传真：0512-50175901
  • 网址：http://www.hlcas.com
  • 地址：昆山石牌瑞安路空港工业园
  • 苏州华科晋半导体设备技术有限公司的产品
  • 苏州华科晋半导体设备技术有限公司的商铺
详细介绍
设备由五大部分组成：清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。2.清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。3.关键件采用进口件，包括气动阀，PFA管道、全氟循环系统，
保证工作介质（酸、碱）的洁净度，避免杂质析出。4.工艺过程全自动，机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制，可存储多条工艺时序，方便使用。
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