包括特种气、有机气、标准气、高纯气、以及配置的各种混合气、杀菌气。
高纯O2、H2、N2、Ar、Ne、He、Kr、Xe、NH3、HCL、CO、CO2、N2O、C3H8分别用于半导体器件制备工艺中热氧化、外延扩展、化学气相沉积、等离子刻蚀、离子注入、氮化等，可作气相色谱及其他仪器仪表的载气、零点气、标准气、校正气。
◇ 高纯O2还用于光导纤维制备、电真空研究等
◇ 高纯N2还用于电器、食品包装充填气等
◇ 高纯Ar还用于化学、冶金行业等
◇ 高纯H2还用于化学、冶金行业还原气氛用
◇ 高纯HCI还用于清除管道系统的有害杂质、纳离子等
◇ 高纯CO2还用于原子能发电、铸硬化、食品冷冻、化工生产等
◇ N2O还用于医疗麻醉、镇痛、食品工业保鲜气、膨松剂和浮法玻璃生产等
◇ C3H8还可以做燃料、冷冻原料等
上述气体与其他气体混合的混合气有广泛的用途，如：色谱及其他仪表校正标准气、大气污染排放控制标准气、核子计数标准气、火花室标准气、化肥生产标准气、石油化工标准气、成型保护及热处理标准气、真空检漏标准气、焊接标准气、还原标准气、放射线测定标准气、医疗卫生标准气、地质勘探标准气、合成空气、灯泡氩、氩甲烷。