高纯氢气净化器是从航天燃料电池技术中延伸开发的新型产品,以水电解氢\瓶装氢气为原料气,经催化除氧,冷凝和吸附干燥及过滤除尘获得≥99.9995%高纯氢气。如需要氢气纯度≥99.9999%,则需采用合金吸气材料进一步净化氢气中残余杂质.本装置结构紧凑,体积较小,纯化效果好,能耗低,催化剂可长期使用,无需再生处理,吸附剂在装置内再生循环使用。超高纯氢气在电子工业部门,用作氢气还原制取半导体超纯材料锗和硅,及用在半导体器件和集成电路的外延工序中及载气和燃烧用气。
处理气量:0.5-3000m3/h
氢气纯度:99.999-99.9999999%
它由电解分离池、开关电源、压力控制、干燥净化、流量显示等系统组成。本仪器的“心脏”电解分离池阳极为筒式结构,阴极为薄板形(均为不锈钢材料),储液、制氢、排氢可同时进行,是板式电解池的最佳换代品。本仪器具有电解面积大、池温低、性能好、产气量大、纯度高之优点,并特设有不返液装置,可有效的确保仪器无返液现象。